標(biāo)題:德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列
主要產(chǎn)品
真空傳感器
主要型號(hào)
MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R - 膜片式真空傳感器
MEMBRAN-1000TORR45-C-3A-CF16R
MEMBRAN-100TORR45-C-3A-CF16R
MEMBRAN-1TORR45-C-3A-CF16R
MEMBRAN-10TORR45-C-3A-CF16R
德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹:
德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列
產(chǎn)品介紹(以MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R為例)
該產(chǎn)品是一款溫度調(diào)節(jié)的膜片式真空傳感器,采用電容式測(cè)量原理,適用于高精度真空測(cè)量。
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍:1.3×10?? - 1.3×10?1 mbar
連接方式:CF法蘭
通徑:16mm
加熱溫度:110°C
接口:RS232和模擬信號(hào)
精度:0.15%
外形尺寸:33.8mm×145.7mm
工作原理:
通過(guò)電容式膜片測(cè)量真空壓力變化,溫度調(diào)節(jié)確保測(cè)量穩(wěn)定性,數(shù)字和模擬接口提供多種數(shù)據(jù)輸出方式。
德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)
? 測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好
? 溫度調(diào)節(jié)功能確保測(cè)量一致性
? 多種接口可選,兼容性強(qiáng)
? 結(jié)構(gòu)緊湊,安裝方便
? 符合PCS清潔度標(biāo)準(zhǔn)
德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列主要應(yīng)用:
德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列產(chǎn)品。
半導(dǎo)體制造設(shè)備
科研實(shí)驗(yàn)裝置
真空鍍膜系統(tǒng)